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真的突破了，不是大烏龍，畢竟國內等高階光學鏡頭等的太久了，等euv光刻機太久了，等高階晶片太久了。”王修齊看著牛光輝的背影，嘀咕著。
……
燕京，清大食堂。
司文博正吃著午飯，心中考慮著如何降低同步輻射euv光源的能量消耗。
同步輻射作為euv光刻機光源的一種實現方案，他把路子走通了，可缺點太明顯了。
太耗能了。
如果國內euv光刻機光源採用他們團隊搞出來的同步輻射euv光源，和國外相比，同樣的晶片，能耗是對方的二十倍，這樣的結果是他不能接受的。
他想了很多方案，唯一靠譜的是能量的回收，可加入能量回收系統後，整個euv光源系統將會變得極其複雜，最為關鍵的是，目前的能量回收系統只能回收百分之十的能量，這無法達到他的心理預期。
正想的時候，他手機響了，拿出來一看，是校長辦公室給他發的郵件。
內容是讓他參加上嶺大學光學鏡頭研究中心的技術報告會。
看了光學鏡頭研究中心發的邀請函後，他不淡定了。
“這……這不會是烏龍吧！包正義他們第六次測試剛失敗，這才幾天，就突破了離子束拋光技術，這加工精度，比歐羅巴的蔡斯都強……不行，現在就買機票，我倒要看看是不是真的突破了。”司文博嘀咕著。
他隨便吃了幾口，把餐盤送到了回收區，就急匆匆的離開了食堂。
……
申城大江區申城微電子無塵工廠。
申城微電子總工程師潘飛鵬穿著無塵服，帶著口罩和護目鏡站在一臺裝置的顯示屏前。
“不錯！不錯！這雙工件臺各種引數都可以了，上午就到這吧！大家準備去吃飯！”潘飛鵬看著顯示屏上的引數，對著周圍工程師們喊。
“吃飯了！”工程師們歡呼後陸陸續續的離開了。
現場就剩下潘飛鵬和他的助理柳天昊。
“euv光刻機啊！三大難題，雙工件臺的問題解決了，euv光源的問題也解決了，就剩下光學鏡頭了。”潘飛鵬有些失落，“我最看好包正義的研究團隊，可他們的第六次測試也失敗了，也不知道國內何時才能造出符合要求的光學鏡頭。”
“總工！清大搞出來的同步輻射euv光源太耗能了，就算我們有了光學鏡頭，造出了euv光刻機，在國際上也沒有競爭力。”柳天昊直言。
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